Semiconductor
- Wafer PVD
- 3D shape sputtering
- Ultra speed reactive sputtering
고도화된 증착 품질과 공정 유연성으로 복잡한 반도체 공정에 대응하며, PVD 기반 고종횡비 구조, 고 증착률, 두꺼운 막 형성 등 차세대 칩 제조에 특화된 기술 경쟁력을 보유하고 있습니다. 또한 디스플레이 및 산업용 응용 분야에서도 기능성 코팅과 맞춤형 엔지니어링 솔루션을 제공합니다.
Display
- Evaporation System & Source
- Continues Sublimation System
- Reliability Evaluation System
- Vacuum Baking System
- Micro LED Bonding Machine
메타코어는 증착, 평가, 어셈블리 등 디스플레이 전 공정에 걸친 솔루션을 제공하고 있고, 연구용부터 대면적 기판용 시스템까지 다양한 아키텍처로 생산 환경에 최적화된 설계를 지원합니다. 또한 연속기화, 신뢰성 평가, 고진공 표면처리 등 주변 장비 기술을 통합 제공하며, Micro LED 등 차세대 디스플레이 분야에도 신속히 대응하고 있습니다.
X-Ray
- CSI deposition
- Selenium deposition
- Electrode sputtering
- Vacuum aging
X-Ray 센서 및 검출기 제조 분야에서는 CSI, 셀레늄 등 특수 재료의 증착과 전극 스퍼터링, 진공 에이징 시스템을 포함한 공정 솔루션을 보유하고 있습니다. 메타코어는 민감한 박막의 특성을 제어하고 안정된 공정 환경을 구현함으로써, 고해상도 이미지 품질과 장기 신뢰성을 확보할 수 있도록 지원합니다.
Aerospace
- High vacuum chamber system for aerospace
우주 환경을 모사할 수 있는 고진공 챔버 시스템을 개발하여, 위성 추진기나 우주기기 테스트에 필요한 극한 환경 조건을 정밀하게 구현합니다. 진공, 가스 제어, 전원 안정성 등 메타코어의 핵심 기술이 집약된 이 시스템은, 고가의 우주 부품개발에 있어 사전 리스크를 최소화하고 검증 효율을 극대화하는 데 기여하고 있습니다.